Technische Universiteit Delft

Alle promoties, intree- en afscheidsredes worden gehouden in de Aula van de TU Delft, Mekelweg 5, Delft

Promotie

Verpakking
15 januari 2001 | 10.30 uur
Mw. C.V.B. Tomescu | Diploma Inginer werktuigbouwkunde aan het Institutul Politechnic Bucurestic, Roemenië

Promotor | Prof.dr. P.J. French (fac. ITS)

Low cost sensor packaging
Sensor packaging heeft pas in de laatste jaren meer belangstelling gekregen, als gevolg van het sterk toenemen van de productie van elektronische sensoren. In haar proefschrift gaat Tomescu in op haar onderzoek naar meerdere mogelijkheden om goedkope assemblage oplossingen voor sensorchips te realiseren. Algemene aspecten van sensor packaging en speciale aandachtspunten voor het ontwerpen van sensoromhullingen heeft de Delftse promovendus bekeken. Bestudering van de verschillende packagingtechnieken wees aan dat voor sensoren één-chip omhullingen van groot belang blijven. Plastic packaging lijkt daarbij voorlopig de beste prijs/kwaliteit verhouding te kunnen leveren voor toepassingen in niet-agressieve media en voor sensoren voor eenmalig gebruik. Een nieuw packaging concept wordt geïntroduceerd. Deze methode maakt het dat het actieve gebied van de sensor in contact blijft met de omgeving terwijl de rest van de chip en leadframe door het plastic worden beschermd. Dit nieuwe packaging maakt het ontwerp van goedkope omhullingen voor hele families van sensoren mogelijk. Nieuwe fabricagetechnologie en materialen die gebruikt zijn bij het implementeren van het packagingconcept zijn geïntroduceerd. Tomescu onderzocht twee mogelijkheden: het creëren van de hulpstructuren op het siliciumwaferoppervlak en het bouwen van de hulpstructuren binnen de holten van de plastic molding matrijzen. De resultaten van de voorgestelde fabricagetechnologie werden geëvalueerd bij Boschman BV, Duiven, Nederland. Het eerste product dat op deze wijze werd verpakt was een CCD camera-chip. De eerste omhulling die gebaseerd is op de nieuwe packaging concept was ontwikkeld. Een uitgebreide eindige-elementen-analyse (FEA) van de mechanische spanningen in de omhulling was uitgevoerd en de theoretische resultaten in de praktijk waren getoetst. De resultaten van de betrouwbaarheidstesten die de nieuwe omhullingen hebben ondergaan waren goed. Zij bevestigden de theoretische resultaten van de FEA en toonden aan dat het ontwerp een betrouwbare oplossing kan zijn voor het goedkoop omhullen van sensoren. Het laatste deel van het onderzoek van de Delftse promovendus was gewijd aan de betrouwbaarheid van de nieuw geïntroduceerde productietechnieken. Uit de resultaten kan geconcludeerd worden dat de nieuwe technieken een betrouwbaar productieproces voor de plastic sensor omhullingen kunnen opleveren. Het proefschrift eindigt met conclusies over het huidig onderzoek en aanbevelingen voor verder onderzoek.



Afkortingen


ITS Faculteit Informatietechnologie en Systemen