TU Delft
Alle promoties, intree- en afscheidsredes worden gehouden in de Aula van de TU Delft, Mekelweg 5, Delft
Promotie
Miniatuur
19 februari 2001 | 10.30 uur
Hr. A. Berthold | Diplom Ingenieur aan de Technische Universität Chemnitz-Zwickau, Duitsland, studierichtung Elektronik
Promotor | Prof. dr. C.I.M. Beenakker (fac. ITS)
Toeg. Promotor | Mw.Dr. P.M. Sarro (UHD-fac. ITS)
In zijn proefschrift beschrijft Berthold nieuwe technologie voor de fabricage van een miniatuur chemisch meetsysteem. Aanleiding tot dit onderzoek was de behoefte aan nieuwe technologie die de ontwerper van dit soort systemen de mogelijkheid geven zich te concentreren op de optimalisatie van de detector in plaats van de beperkingen van het fabricageproces te moeten omzeilen. De nadruk in dit proefschrift ligt op technieken voor wafer-bonding bij lage temperaturen. Als eerste worden de bestaande wafer-bonding technieken besproken. Een beschrijving van de verschillende technieken van adhesief-, eutectisch-, anodisch- en fusiebonden wordt gegeven. De beperkingen van deze processen worden duidelijk gemaakt en de mogelijke toepassing ervan voor microchemische instrumenten besproken. Uit deze bespreking volgt dat voor de constructie van dit type systemen nieuwe bondtechnieken noodzakelijk zijn.
Afkortingen
BK Faculteit Bouwkunde
CiTG Faculteit Civiele Techniek en Geowetenschappen
ITS Faculteit Informatietechnologie en Systemen
TNW Faculteit Technische Natuurwetenschappen
LR Faculteit Luchtvaart- en Ruimtevaarttechniek
OCP Faculteit Ontwerp, Constructie en Productie
TBM Faculteit Techniek, Bestuur en Management