Technische Universiteit Delft
Alle promoties, intree- en afscheidsredes worden gehouden in de Aula van de
TU Delft, Mekelweg 5, Delft
Promotie
Stroomgeleidend aluminium
5 juni 2002 | 13.30 uur
hr. J.P. Lokker | doctorandus in de natuurkunde.
promotor | Prof.dr.ir. S. Radelaar (fac TNW)
toeg.prom. | Dr. G.C.A.M. Janssen (UHD-fac TNW)
Mechanical Properties and Microstructure of Aluminum-alloy Thin Films
Microelectronic Applications
Aluminium en aluminiumlegeringen worden gebruikt als stroom geleidende
verbindingen in geïntegreerde schakelingen (engels: Integrated Circuit; IC).
Tijdens het maken van de IC worden de materialen enkele keren tussen kamer
temperatuur en 400 °C verwarmd en afgekoeld. Als gevolg van het verschil in
thermische uitzettingscoëfficient van het silicium substraat en van de
gelegeerde aluminium dunne films worden tijdens deze
temperatuursbehandelingen mechanische spanningen geïnduceerd in de dunne
film. Deze spanningen kunnen leiden tot verslechterde mechanische
betrouwbaarheid van de dunne aluminium film.
Het mechanische gedrag van Al dunne films kan worden beïnvloed door
toevoegen van bepaalde legeringselementen. Het doel van het onderzoek dat
wordt beschreven in het proefschrift, is het beter begrijpen van de invloed
van legeringselementen op de ontwikkeling van mechanische spanningen in de
gelegeerde aluminium dunne films tijdens opwarmen en afkoelen tussen
kamertemperatuur en 500 °C. Deze ontwikkeling wordt gerelateerd aan de
oplosbaarheid en de diffusie eigenschappen van de elementen in de aluminium
dunne film. De geselecteerde legeringselementen zijn combinaties van kleine
hoeveelheden nikkel, chroom, vanadium, palladium en koper.
Voor verder lezen:
* Thin-Films-stresses and mechanical properties VII, 1997
* Materials science of thin films : deposition and structure by Milton
Ohring, 2002
Maarten van der Sanden
Wetenschapsvoorlichter
Communicatie & Marketing Groep / TU Delft
tel.: 015 2785454
fax.: 015 2781855
GSM: 06 20408176