Silicium
6 januari 2003 | 13.30 uur
hr.P.C. van der Wilt | elektrotechnisch ingenieur.
Promotor | Prof.dr. C.I.M. Beenakker (fac ITS)
Formation of Crystalline-Silicon Islands for Thin-Film Transistors by
Excimer-Laser Induced Lateral Growth
Dit proefschrift bespreekt een nieuwe methode voor de vorming van
kristallijn silicium eilanden op een van te voren aangewezen positie in een
dunne laag silicium. Deze tot 7 ?m grote eilandjes kunnen toegepast worden
in het vervaardigen van kristallijn silicium dunne-film transistoren (TFTs)
op glazen substraten. Het kanaal van deze transistoren is zodoende vrij van
kristalgrenzen waardoor een hoge aan/uit ratio en een hoge ladingsdrager
bewegelijkheid bereikt kan worden. Hierdoor is het mogelijk verschillende
schakelingen te maken die normaliter in dure silicium wafers gemaakt worden.
Zulke schakelingen kunnen bijvoorbeeld toegepast worden voor de integratie
van verscheidene componenten op de rand van een LCD scherm. Dit zou een
vermindering van het aantal externe componenten kunnen betekenen en daarmee
een reductie in zowel prijs als afmeting van het scherm.
De methode is gebaseerd op puls-laser smelten en stollen van dunnen lagen.
Op bepaalde posities zijn holtes in het substraat aangebracht zodanig dat er
gedurende de belichting met de UV puls kleine restantjes ongesmolten
silicium overblijven. Van de verscheidene kristallen die beginnen te groeien
op dit ongesmolten deel is er maar één die de holte verlaat en vervolgens de
kiem vormt van de laterale groei van een kristallijn silicium eiland. Dit
werk is uitgevoerd aan het Delfts Instituut voor Microelectronica en
Submicrontechnologie (DIMES) en deels ook in het Program of Material Science
and Engineering van Columbia University in New York. Bovendien wordt het
onderzoek actief gesteund en gefinancierd door Seiko Epson Corporation in
Japan.
Voor verder lezen:
* Comparison of thin film transistor and SOI technologies; symposium,
Albuquerque, Febr. 1984
* InP HBTs: growth, processing, and applications, 1995
Maarten van der Sanden
Wetenschapsvoorlichter
Universiteitsdienst TU Delft /
Dir. Marketing & Communicatie
tel.: +31 15 2785454
fax: +31 15 2781855
GSM: +31 (0)6 20408176
Technische Universiteit Delft