Stichting FOM
23 november 2009
Tim Tsarfati ontvangt eerste FOM Valorisatiehoofdstuk Prijs
De FOM Valorisatiehoofdstuk Prijs, die in januari 2010 voor het eerst
zal worden uitgereikt, wordt toegekend aan dr. Tim Tsarfati. Hij
krijgt de prijs voor het laatste hoofdstuk van zijn proefschrift
'Surface and interface dynamics in multilayered systems', waarop hij
in juni 2009 promoveerde aan de Universiteit Twente. Met deze nieuwe
prijs wil de stichting FOM stimuleren dat haar promovendi in hun
proefschrift een apart hoofdstuk wijden aan de valorisatieaspecten en
toepassingsmogelijkheden van hun onderzoek. Aan de prijs is een
geldbedrag van EUR5.000,- verbonden dat door de prijswinnaar vrij te
besteden is.
Tsarfati verrichtte zijn onderzoek aan het FOM-Instituut voor
Plasmafysica Rijnhuizen onder supervisie van prof. Fred Bijkerk. Het
onderzoek maakt deel uit van het FOM-programma 'eXtreme UV Multilayer
Optics' (XMO), een Industrial Partnership Programme (IPP) in
samenwerking met de Duitse opticagigant Carl Zeiss SMT. In dit
programma wordt gewerkt aan spiegels voor extreem ultraviolet licht,
dat gebruikt gaat worden in de volgende generatie lithografiemachines
voor de chipindustrie. De spiegels worden opgebouwd uit een honderdtal
afwisselende laagjes molybdeen en silicium. Elk van deze laagjes is in
dikte van de orde van de golflengte van het te reflecteren licht,
typisch zo'n 13 nanometer. Dit betekent dat elk laagje slechts enige
tientallen atomen dik is en op die schaal zeer glad moet zijn. De
afdeling binnen Rijnhuizen heeft het wereldrecord van reflectie met
zulke multilaagspiegels in handen. De spiegels weerkaatsen zo'n 71%
van het binnenvallende extreem ultraviolet licht, bijna het
theoretisch maximum.
Het onderzoek van Tsarfati richtte zich op het ontwerp en het
verlengen van de levensduur van de spiegels. Hiertoe ontwikkelde hij
verschillende tussenlaagjes en afdeklagen om menging, vervuiling en
erosie van de laagjes, ook bij langdurige blootstelling aan EUV, te
voorkomen.
De belangrijkste redenen voor het toekennen van de prijs aan Tsarfati
zijn de concrete wijze waarop hij de toepassingsmogelijkheden van zijn
onderzoeksresultaten beschrijft en het realiteitsgehalte van de
aangedragen mogelijkheden voor kennisbenutting. Tevens heeft zijn
inzet voor kennisbenutting binnen FOM tijdens zijn onderzoek er aan
bijgedragen dat dr. Tsarfati nu is aangesteld als 'Valorisation
Officer' aan het FOM-Instituut voor Plasmafysica Rijnhuizen.