Kristalgroeiprijs 2002 voor Nijmeegs onderzoek
Etsproces silicium op atomaire schaal in kaart gebracht
De Kristalgroeiprijs 2002 is toegekend aan de Nijmeegse onderzoeker
dr. Erik van Veenendaal. Hij krijgt de prijs voor zijn onderzoek aan
het nat chemisch etsen van silicium. Dit proces wordt onder meer
toegepast om microsensoren te ontwikkelen. Van Veenendaal beschrijft
het etsproces op de meest fundamentele schaal, die van atomen. Dankzij
zijn onderzoek is de oorzaak van ongewenste kristalvormen opgehelderd.
De prijs wordt vandaag, vrijdag 8 november 2002, uitgereikt in Geleen
door de Nederlandse Vereniging voor Kristalgroei (NVKG).
Erik van Veenendaal (Giesbeek, 1973) krijgt de prijs voor zijn onderzoek aan de groei en het etsen van silicium. In zijn onderzoek beschrijft hij op atomair niveau de processen die optreden tijdens het etsen. Dat doet hij met computersimulaties als ook theoretische modellen. Alleen door het etsproces op atomaire schaal te begrijpen, kan de nauwkeurigheid worden vergroot. De resultaten zijn verwerkt in een computerprogramma dat het etsproces kan voorspellen.
Belang voor micromechanica
Het nat chemisch etsen van silicium wordt van steeds groter belang in
de micromechanica. Nat chemisch etsen van silicium houdt in het etsen
in een oplosmiddel. Hierdoor kunnen bijzonder nauwkeurige vormen
worden gemaakt, zoals verfijnde mechanische onderdelen. Deze
micromechanica heeft toepassingen in de telecommunicatie
(aansluitpunten voor glasvezels), sensoren (bijvoorbeeld om airbags in
een auto op te blazen bij een botsing) en wordt in de toekomst
wellicht ook gebruikt voor de dosering van medicijnen.
Piramide-structuur
Een van de problemen bij het etsproces is het ontstaan van ongewenste
structuren, waardoor de vereiste nauwkeurigheid (ca. 0.01 mm) niet kan
worden bereikt. Een voorbeeld van zo'n ongewenste structuur is een
piramide-structuur (zie foto). Dankzij het werk van Erik van
Veenendaal is de oorzaak van deze piramides duidelijk geworden, wat
bijdraagt aan het voorkomen ervan.
Vaste Stof Chemie
Het onderzoek is uitgevoerd op de afdeling Vaste Stof Chemie van prof.
E. Vlieg en dr. W.J.P. van Enckevort van de Katholieke Universiteit
Nijmegen, in samenwerking met de afdeling Micromechanische
Transductietechniek van prof. M. Elwenspoek van de Universiteit
Twente. Het vond plaats in het kader van een project van de
Technologiestichting STW.
Vorig jaar promoveerde Erik van Veenendaal cum laude op dit onderzoek.
Daarvoor studeerde hij scheikunde en wiskunde aan de Katholieke
Universiteit Nijmegen, studies die hij beide cum laude afrondde.
Momenteel is Van Veenendaal werkzaam bij het Philips Natuurkundig
Laboratorium te Eindhoven.
Krisralgroeiprijs
De Kristalgroeiprijs wordt jaarlijks uitgereikt door de Nederlandse
Vereniging voor Kristalgroei (NVKG) aan een jonge onderzoeker die
grote originaliteit en kwaliteit heeft getoond op het terrein van
kristalgroei. Aan de prijs is een oorkonde en een vrij te besteden
bedrag van 1000 euro verbonden.
8-11-2002