Technische Universiteit Delft

De opening van het collegejaar en alle intreeredes en promoties worden gehouden in de Aula van de TU Delft, Mekelweg 5, Delft

Regeltechniek
08 september 2004 | 10.30 uur
hr. B.G. Dijkstra | werktuigkundig ingenieur
promotor | Prof.ir. O.H. Bosgra (fac OCP)

Iterative learning control with applications to a wafer stage Bij de fabricage van computerchips worden steeds strengere eisen gesteld aan de nauwkeurigheid van alle betrokken onderdelen, teneinde de steeds kleiner wordende schakelingen efficiënt te kunnen blijven fabriceren. Zo worden ook steeds strengere eisen gesteld aan de regeltechniek die betrokken is bij dit fabricageproces.
Met een waferstepper worden de patronen van deze schakelingen meerdere malen op een silicium-plak geprojecteerd. De herhalende bewegingen van deze plak, om het gehele oppervlak te kunnen vullen met chips, leent zich uitstekend voor het gebruik van Iteratief Lerende Regelaars. Deze regelaars zijn in staat om kennis van fouten uit het verleden te gebruiken om in de toekomst dezelfde fouten te elimineren.
Bestaande Iteratieve Lerende Regelaars zijn echter nogal onvoorspelbaar en zijn moeilijk te ontwerpen zonder uitgebreide ervaring op dit gebied. Dit proefschrift spitst zich toe op een systematische techniek die het gedrag van de regelaars in de hand houdt, en tevens de het gebruiksgemak groot houdt.
De resulterende technieken zijn geïllustreerd in de toepassing op high-tech wafer-steppers zoals die ook bij de fabricage van de modernste computer chips worden gebruikt.

Voor verder lezen:

* Linear and nonlinear iterative learning control by Jian-Xin Xu and Ying Tan, 2003

* > Iterative learning control: analysis, design, integration and applications by Zeungnam Bien and Jian-Xin Xu, 1998
* Feedback oriented identification for enhanced and robust control: a fractional approach applied to a wafer stage by Raymond Arnoud de Callafon, 1998